大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于反应釜真空泵选型要求的问题，于是小编就整理了5个相关介绍反应釜真空泵选型要求的解答，让我们一起看看吧。

1. 真空泵如何选型真空泵选型方法
2. 真空泵如何选型?
3. 真空泵选型原则及选型计算公式
4. 真空泵如何选型?
5. 真空泵如何选型 真空泵选型方法

1、真空泵如何选型真空泵选型方法

真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。（如：真空工艺要求100pa（绝对压力）的真空度，选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa）。

如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、挡油阱、挡板等，也能达到清洁真空要求。了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸汽，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。

通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。正确地选择真空泵的工作点。

真空泵的极限压力应当满意该技术的工作压力。通常挑选泵的极限压力低于技术请求约一个数量级。每种泵都有必定的工作压力规模，因此，泵的工作点应当选在这个规模以内，而不能让它在答应工作压力以外长期工作。

首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。

2、真空泵如何选型?

真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。通常选择真空泵泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。正确地选择真空泵的工作点。

真空泵的极限压力应当满意该技术的工作压力。通常挑选泵的极限压力低于技术请求约一个数量级。每种泵都有必定的工作压力规模，因此，泵的工作点应当选在这个规模以内，而不能让它在答应工作压力以外长期工作。

3、真空泵选型原则及选型计算公式

真空泵要求抽气速率（也就是要求真空泵在其工作压力下，排出气体、液体，固体的能力），一般单位：m3/h，L/S，m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然，真空泵的选型是一个综合过程，涉及到相关经验等因素。

如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。

选型原则是按标准状况下（水温15℃、气温20℃、排气压力为1013mbar），水环真空泵试验所测得的性能曲线进行选型，非标准状况时，必须对进气速率或气量进行修正。

若环境不允许，应选择无振动的泵或者采取减震措施。真空泵选型，方法真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求，通常选择真空泵泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

4、真空泵如何选型?

真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。通常选择真空泵泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。正确地选择真空泵的工作点。

真空泵的极限压力应当满意该技术的工作压力。通常挑选泵的极限压力低于技术请求约一个数量级。每种泵都有必定的工作压力规模，因此，泵的工作点应当选在这个规模以内，而不能让它在答应工作压力以外长期工作。

5、真空泵如何选型 真空泵选型方法

真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。通常选择真空泵泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

真空泵选型，方法首先应该充分了解被抽气体成分。

真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。（如：真空工艺要求100pa（绝对压力）的真空度，选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa）。

真空泵的极限压力应当满意该技术的工作压力。通常挑选泵的极限压力低于技术请求约一个数量级。每种泵都有必定的工作压力规模，因此，泵的工作点应当选在这个规模以内，而不能让它在答应工作压力以外长期工作。

选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

到此，以上就是小编对于反应釜真空泵选型要求的问题就介绍到这了，希望介绍关于反应釜真空泵选型要求的5点解答对大家有用。